郭俊婷
,
徐阳
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.05.024
采用卷绕型磁控溅射设备在涤纶(PET)针刺毡表面沉积了纳米结构 Cu 薄膜,利用 X 射线衍射仪(XRD)对薄膜的组分和结晶状态进行了分析,用原子力显微镜(AFM)分析了不同溅射工艺参数对纳米Cu薄膜微观结构和颗粒直径的影响,并较为系统地分析了溅射功率、工作气压和沉积时间对镀铜PET针刺毡导电性能的影响。结果表明,增大溅射功率,镀铜PET针刺毡导电性和 Cu 膜均匀性变好,但应控制在6 kW以下；随工作气压的增大,薄膜方块电阻先减小后增大,薄膜厚度更加均匀；随着沉积时间的延长,Cu粒子的直径增大,Cu膜的导电性和均匀性明显变好。
关键词:
卷绕型磁控溅射
,
纳米结构Cu薄膜
,
X射线衍射仪
,
原子力显微镜(AFM)
,
导电性能
